[뉴스핌=노희준 기자] 참엔지니어링은 24일 플라즈마 처리 장치 및 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 노희준 기자 (gurazip@newspim.com)
[뉴스핌=노희준 기자] 참엔지니어링은 24일 플라즈마 처리 장치 및 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 말했다.
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