[뉴스핌=김선엽 기자] 테스는 웨이퍼 정렬장치 및 이를 포함하는 로드락 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.
회사는 "본 특허는 웨이퍼 정렬 과정에서 소요되는 시간이 전체 반도체 제조 공정시간을 지연시키는 것을 방지해 반도체 제조의 생산성을 향상시킬 수 있다"고 말했다.
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[뉴스핌 Newspim] 김선엽 기자 (sunup@newspim.com)












