IBS, 원자 두께 2차원 반도체 단결정·웨이퍼 크기 합성
[대전=뉴스핌] 김태진 기자 = 기초과학연구원(IBS)은 나노구조물리 연구단 이영희 단장(성균관대 교수)과 김기강 연구위원(성균관대 부교수), 최수호 박사후연구원 연구팀이 2차원 반도체 소재를 단결정으로 대면적 합성하는 방법을 개발했다고 18일 밝혔다.
김수민 숙명여대 교수, 한영규 동국대 교수가 연구에 참여했다.
전이금속 칼코겐 화합물(TMD)은 얇은 2차원의 반도체이다. 한 층이 원자 3개 크기와 맞먹는 나노미터(10-9m) 두께를 갖는다.
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| 단결정 2차원 반도체 합성 모식도 및 실제 실험 결과[사진=IBS] 2021.03.18 memory4444444@newspim.com |
이는 실리콘과 유사한 전기적 특성을 보유하고 있어 차세대 전자소자, 광소자, 센서, 촉매 등에 쓰임새가 높다.
하지만 충분히 큰 TMD 단결정을 만들기 위해 최근까지 많은 시도가 있었으나 뚜렷한 성과가 보고된 바 없었다.
공동연구진은 원자 수 개 크기의 톱니 모양 표면을 갖는 금 기판을 이용해 이러한 문제를 해결했다.
다결정 박막 결함은 결정들이 각기 다른 방향으로 성장하기 때문에 생긴다. 단결정을 만들기 위해서는 원자 수준에서 결정 성장 방향을 동일한 방향으로 정렬시켜야 한다.
연구진은 금 기판 위에서 TMD 단결정이 생김을 우연히 발견하고 금 기판이 액체 상태에서 응고될 때 한 방향으로 정렬된 톱니 모양 표면을 가짐을 밝혔다.
TMD 결정 방향이 금 표면에 나란히 정렬될 때 가장 안정한 에너지를 가짐을 제시해 단결정 형성 원리를 이론적으로 밝혔다.
이어 주사터널링현미경으로 톱니 표면과 TMD 결정 방향이 정렬된 것을 관찰함으로써 이 가설을 실험적으로 확인했다.
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| 다양한 금 표면에서 WS2 클러스터 회전각도에 따른 흡착 에너지 계산결과 및 실험적으로 측정된 단결정 WS2의 주사터널링현미경 이미지[사진=IBS] 2021.03.18 memory4444444@newspim.com |
연구진이 개발한 기술로 이황화몰리브덴(MoS2), 이황화텅스텐(WS2), 이셀레늄화텅스텐(WSe2) 등의 단일소재는 물론 두 가지 이상의 소재를 접합한 이종접합구조(heterostructure) 및 화합물(alloy)도 단결정 박막 합성이 가능함을 보였다.
이로써 대면적 단결정 2차원 소재 적층구조에서 나타나는 새로운 물리 현상들을 밝히고 이를 전자/광소자 연구에도 활발히 응용할 수 있게 됐다. 연구진은 향후 2차원 소재들이 적층된 초격자 구조의 단결정 합성 연구를 수행할 계획이다.
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| 이영희 나노구조물리 연구단장[사진=IBS] 2021.03.18 memory4444444@newspim.com |
공동교신저자인 이영희 연구단장은 "이번 연구로 2차원 반도체 소재 본연의 특성을 지닌 단결정 합성기술을 개발했을 뿐만 아니라 단결정 합성의 핵심 원리를 규명함으로써 2차원 소재 상용화의 초석을 놓았다"고 말했다.
이번 연구는 재료 분야 권위지인 '어드밴스드 머터리얼즈(Advanced Materials)'에 지난 10일 게재됐다.
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