[뉴스핌=이보람 기자]반도체장비 제조업체 테스는 '비정질 탄소막의 에어갭 형성방법' 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술로서, 신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 이보람 기자 (brlee19@newspim.com)
[뉴스핌=이보람 기자]반도체장비 제조업체 테스는 '비정질 탄소막의 에어갭 형성방법' 특허권을 취득했다고 23일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술로서, 신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 이보람 기자 (brlee19@newspim.com)
사진
사진