[뉴스핌=윤지혜 기자] 원익아이피에스는 Ge-Sb-Te 화합물 박막 형성 방법에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 "기판에 형성된 패턴에서 패턴 외부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴내부에 박막이 형성되는 속도가 큰 원료가스를 이용하여 갭필 특성을 향상시킨다"고 설명했다.
[뉴스핌 Newspim] 윤지혜 기자 (wisdom@newspim.com)
[뉴스핌=윤지혜 기자] 원익아이피에스는 Ge-Sb-Te 화합물 박막 형성 방법에 대한 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.
회사 측은 "기판에 형성된 패턴에서 패턴 외부에 박막이 형성되는 속도보다 패턴내부에 박막이 형성되는 속도가 큰 원료가스를 이용하여 갭필 특성을 향상시킨다"고 설명했다.
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