[뉴스핌=서정은 기자] 테스는 산업통상자원부 산하기관인 한국산업기술평가 관리원(KEIT)이 주관하는 '고내압 전력반도체 에피구조 설계 및 에피 성장장비 개발' 과제의 주관기업으로 선정됐다고 1일 밝혔다.

테스는 앞으로 3년동안 36억원 가량을 투자해 '전력반도체용 에피 성장장비(MOCVD)를 개발해 전력반도체 장비 시장으로 기반을 넓힐 예정이다.

'전력반도체'란 전력의 변환 및 제어에 사용되는 반도체로, 배터리로 동작해야 하는 장치들에서 배터리 구동시간을 늘리기 위해 많이 사용된다.

테스는 이번 전력반도체 MOCVD를 질화갈륨 온 실리콘(GaN on Si,Gallium Nitride on Silicon) 웨이퍼를 기반으로 개발을 추진한다. GaN on Si 기반의 전력반도체 제조시에서는 에피성장이 핵심공정으로 이미 테스가 UV LED용 MOCVD 양산경험을 통해 기반기술을 확보해 놓고 있는 상태다.

회사관계자는 "전력반도체의 상용화를 위해선 핵심공정인 에피성장 장비(MOCVD)가 필수적이라며, 자체 개발한 대구경 MOCVD 및 UV LED용 MOCVD 양산 및 판매경험이 있었기에 이번 전력반도체 에피성장 장비개발 주관기업으로 선정됐다"고 설명했다.

또한 "에피구조 설계 및 평가등은 한국생산기술연구원과 휴스턴 대학교 및 달라스 텍사스 주립대와 공동 진행해 해외 원천기술을 습득하고 내재화 하는데 큰 도움이 될 것으로 기대된다"고 말했다.

한편 테스는 'UV LED용 MOCVD'에서 'GaN 기반 전력반도체용 MOCVD'까지 제품 라인업을 확대한다는 방침이다.

[뉴스핌 Newspim] 서정은 기자 (loveme@newspim.com)