[뉴스핌=노경은 기자] 테스는 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화를 위해 기판처리장치에 대한 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사 측은 "기판처리장치는 챔버로 공급되는 가스 흐름의 선형성이 유지되므로 처리되는 기판의 품질이 향상되는 장점이 잇다"고 설명했다.
[뉴스핌 Newspim] 노경은 기자 (now21c@newspim.com)
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회사 측은 "기판처리장치는 챔버로 공급되는 가스 흐름의 선형성이 유지되므로 처리되는 기판의 품질이 향상되는 장점이 잇다"고 설명했다.
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