[뉴스핌=정경환 기자] 참엔지니어링은 가스 분사 어셈블리 및 기판 처리 장치 특허권을 취득했다고 24일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허를 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화시킬 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 정경환 기자 (hoan@newspim.com)
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회사 측은 "이번 특허를 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화시킬 계획"이라고 덧붙였다.
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