테스, 가스분사장치 특허 취득

기사입력 : 2011년11월01일 14:21

최종수정 : 1970년01월01일 09:00

[뉴스핌=김민정 기자] 테스는 가스분사장치 관련 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.

이 특허에 의하면 가스 분사 플레이트가 상하 방향으로 열변형되지 않고 가스 분사 플레이트와 기판 사이의 간격이 일정하게 유지돼 박만의 증착 균일도가 보장될 수 있다는 게 회사 측의 설명이다.

회사 측은 또, "장비 제조시 특허 기술 적용을 통한 제품 경쟁력 강화에 활용하겠다"고 밝혔다.

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[뉴스핌 Newspim] 김민정 기자 (thesajah@newspim.com)

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