[뉴스핌=정탁윤 기자] 테스는 대면적 가스분사장치 관련 특허를 취득했다고 18일 공시했다.
테스는 이번 특허와 관련 "반응가스를 균일하게 확산시킬 수 있고 챔버 내 중심부와 가장자리부에서의 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있다"고 설명했다.
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[뉴스핌 Newspim] 정탁윤 기자 (tack@newspim.com)
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테스는 이번 특허와 관련 "반응가스를 균일하게 확산시킬 수 있고 챔버 내 중심부와 가장자리부에서의 균일한 플라즈마를 발생시킬 수 있다"고 설명했다.
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