[뉴스핌=임애신 기자] 테스는 7일 플라즈마 발생용 전극과 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
회사는 "전자의 이용을 용이하게 하고 플라즈마의 확산을 촉진해 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있다"며 "증착 균일도 역시 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.
▶글로벌 투자시대의 프리미엄 마켓정보 “뉴스핌 골드 클럽”
[뉴스핌 Newspim] 임애신 기자 (vancouver@newspim.com)
[뉴스핌=임애신 기자] 테스는 7일 플라즈마 발생용 전극과 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
회사는 "전자의 이용을 용이하게 하고 플라즈마의 확산을 촉진해 균일한 플라즈마 분포를 구현할 수 있다"며 "증착 균일도 역시 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.
▶글로벌 투자시대의 프리미엄 마켓정보 “뉴스핌 골드 클럽”
[뉴스핌 Newspim] 임애신 기자 (vancouver@newspim.com)
사진
사진