[서울=뉴스핌] 김양섭 기자 = 신성이엔지가 국내 반도체 산업 성장에 이바지한 클린룸의 주요 장비를 대거 선보인다.

신성이엔지는 오는 7일까지 서울 코엑스에서 개최되는 '제24회 반도체 대전(SEDEX2022)에 참가한다. 클린룸의 주요 장비를 선보이며 반도체 산업 생태계 발전에 기여해 온 활동상을 소개한다.

1977년 설립된 신성이엔지는 반도체 산업의 클린환경을 조성한 기술 선도 기업이다. 지난 1991년 국내 최초로 클린룸의 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit)를 국산화하는 데 성공했다. 클린룸이란 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간으로, 먼지·온도·습도 등을 완벽하게 제어한다. 산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 효율적으로 제어, 제품의 품질과 생산수율을 높이는 클린룸의 핵심 장비다. 2005년 세계일류상품에 선정됐으며 전세계 60% 이상의 점유율을 차지하는 등 우수한 기술력을 자랑한다.

이번 전시회에서는 클린룸의 주요 장비들이 소개된다. FFU외에도 ▲기류 연동 시스템 ▲휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) ▲파티클 가시화 시스템 등이 있다. 모두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발, 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다. 

휘발성유기화합물(VOCs) 제거 장비인 V-master는 신성이엔지가 2005년 국내 최초로 개발한 장비다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거한다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조 환경은 용제 등의 이유로 유해물질이 잔존할 수 밖에 없는데 이를 제거하기 위한 장비다.

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