<上편에서 이어짐>

◆ 이탕반도체(Best-Semi), 미국 멧슨(Mattson) 인수 통해 건식식각기 기술 확보

이탕반도체(屹唐半导体, Best-Semi, 비상장)는 중국 중앙정부 국유기업 이좡궈퉈(亦庄国投)의 손자회사로 2015년 베이징경제기술개발구에 설립되었다. 설립과 동시에 2016년 미국 메슨 테크놀로지를 인수하여 선진 반도체 장비 기술을 확보하고, 2018년 베이징에 생산기지를 건설하여 사업기반을 더욱 단단히 다졌다. 2021년 8월 상하이 과창판 등록심사를 통과했으며 곧 상장을 앞두고 있다.

멧슨 테크놀로지(Mattson Technology, 나스닥: MTSN)는 1988년 켈리포니아 프리몬트에 설립되었고, 1994년 나스닥에 상장되었다. 1995년 괘속열처리(RTP) 장비를 첫 고객에게 인도했고, 1996년 식각 장비를 처음 납품했다. 2005년 건식PR(포토레지스트)제거(Dry Stripe) 장비를 출시했고, 2007년 'paradigmE' 건식식각(Dry Etch) 장비를 출시한 후, 2016년 5월 중국 이탕반도체에 인수되었다.

이탕반도체도 멧슨 인수 이후, 지속적으로 장비사업을 확장했다. 2018년에 베이징에 반도체 장비 공장을 설립하고 가동했으며, 2019년에는 'Novyka' 식각 및 표면처리 장비를 출시했고, 2020년에는 'Helios V' 쾌속 열처리 장비를 출시하는 등 신제품 개발을 이어갔다.

Gartner 자료에 의하면, 건식PR제거 장비는 2020년 세계시장 점유율 31.29% (1위)를 기록했고, 쾌속열처리 장비는 세계시장 11.50% (AMAT 이어 2위)를 기록하면서 두각을 나타냈다.

하지만 최근 이탕반도체가 더욱 주목을 받는 것은, 건식식각(Dry Etch) 장비가 65-5nm 시스템반도체, 10nm 계열 D램, 그리고 32~128단 3D 낸드플래시 제조에 적용될 수 있어, 미국의 선진 식각장비를 대체할 중국산 대안으로 기대되기 때문이다.

과창판 IPO 신청서에 따르면, 이탕반도체의 2021년 상반기 매출은 14억2000만 위안, 순이익 9520만위안이며, 특히 해외매출 비중이 67.7%로 괭장히 높은 수준이다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 건식식각기 'paradigmE' (출처: 이탕반도체 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 기대주 성메이상하이,신웬마이크로, 화하이칭커 및 즈춘과기

성메이상하이(盛美上海, ACM Research, 688082.SH)는 2005년 미국 ACM Research의 중국지사로 설립되었으며, 현재는 반도체 세정 장비의 중국 선두 업체이다. 2022년 상반기 예상실적을 보면, 매출 75% 증가, 순이익 160% 증가 등 큰 성장이 기대된다.

미국 ACM Research(나스닥:ACMR)는 중국계 미국인 후이 왕(Hui Wang) CEO가1998년 설립한 나스닥 상장 회사다. 독보적인 메가음파(Megasonic) 기술을 활용한 반도체 습식 세정 장비를 개발했고 전기도금 장비 입식열처리로 연마(CMP) 장비 등도 개발했다. 현재 상하이, 베이징, 한국, 대만, 미국에 지사를 설립했으며, 성메이 상하이의 지분 82.5%를 보유하고 있다.

신웬마이크로(芯源微, KINGSEMI, 688037.SH)는 중국 유일의 반도체 현상(Developing) 장비 전문회사이며, 28nm 현상 장비 외 PR 코팅기, PR스프레이, PR제거, 3세대 반도체 습식 식각기, 싱글 세척기 등을 개발 하고 있다.

신웬마이크로는 선양시 정부, 중국과학원 선양자동화연구소, 랴오닝 성정부가 공동 출자하여 2002년 선양시(沈阳市)에 설립했다. 2022년 상반기 실적 예상을 보면, 매출은 43.7% 증가, 순이익은 97.9% 증가가 기대된다.

화하이칭커(华海清科, HWATSING, 688120.SH)는 톈진시 정부와 칭화대학이 공동 출자하여 2013년 텐진에 설립한 반도체 연마광택(CMP) 장비 전문기업이다. 45~14nm급 12" CMP 장비 및 4"~8" CMP 장비를 공급하고 있으며, 12" 고급 제품이 매출의 85%를 넘고 있으나, 국내 매출 비중이 100% 이다.

주요 고객은 창장메모리(YMTC)과 화홍그룹(Huahong)이며, 2022년 상반기 예상실정을 보면, 매출 144% 증가, 순이익 163% 증가 등 큰 폭의 경영실적 향상이 기대된다.

즈춘과기(至纯科技, PNC, 603690.SH)는 고순도(기체/액체) 공정시스템, 반도체 습식 식각/세정 장비, 광센서 및 광소자 등을 주력 사업으로 하고 있다. 2000년 상하이에 설립되었고, 2022년 1분기 매출은 137.0% 증가했지만, 순이익은 70.8% 감소했다. 

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = 중국 유일의 28nm 반도체 현상(Developing) 장비인 신웬마이크로(KINGSEMI)의 'KS-FT200/300' (출처: 신웨마이크로 홈페이지, 2022.8). 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 중국 반도체 장비 국산화율 20%에도 못미쳐

중국의 반도체 장비 국산화 수준을 가늠하기 위해, 중국 유일한 낸드플래시 메모리 기업 창장메모리(YMTC, 长江存储)를 사례로 살펴보자. 이 회사는 14nm 공정 파운드리 SMIC(중신국제), 19nm 공정 D램 양산기업 창신메모리(CXMT) 등과 함께 중국 최고의 장비 기술을 보유한 공장이다.

참고로 창장메모리는 22nm 공정의 제조라인을 보유하고 있으며, 2019년 9월부터 64층 256Gb TLC 3D 낸드플래시 제품을 양산했고, 2020년 4월부터는 128층 QLC 3D 낸드플래시(모델: X2-6070)를 월 6만장씩 양산 중에 있다.

창장메모리의 중국산 장비 도입 현황을 세분화된 공정별로 살펴보면, 식각, 화학증착, 연마, 세정 등 공정에서 중국산 장비 활용을 확대하고 있으나, 2020년을 기준으로 볼때 종합적인 국산화율은 16.1%에 불과하다.

현재 중국 반도체 장비 산업은 반도체 장비 선진국들과 기술 및 제품화 수준 격차가 상당히 많이 난다고 볼 수 밖에 없다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 =2020 창장메모리(YMTC) 중국산 장비 도입 비중 (출처: 팡정증권(方正证券)， 2021.1) 2022.09.01 chk@newspim.com

◆ 반도체 장비 '위기' 극복 위해 "양탄일성(两弹一星)" 정신으로 무장

2021년 9월 중국 공산당 100주년을 맞이하여, 중국공산당 중앙위원회는 '양탄일성'을 공산당원 정신 중 하나로 선정했다. 중국공산당 100년 역사 중 가장 중요한 과학적 성과라는 양탄일성이 의미하는 것은 무엇인가.

1945년 일본이 두차례 핵 공격을 받고 연합군에게 '항복'하는 것을 지켜본 중국은, 6.25 전쟁에 참전한 이후 미국이 중국 본토에 대해 핵공격을 하지는 않을까 하는 절대절명의 위협을 느끼고 있었다.

실제로 미국은 6.25 기간 중에 '북한 및 중국에 26개 핵폭탄 투하 목표지역을 선정'하고 맥아더 사령관에게 핵무기 사용권을 부여했다는 얘기가 전해지고 있다.

1949년 10월 신중국 건국 전 베이징에 입성한 중국 공산당 지도자들은 '수도 베이징에 탱크는 커녕 트랙터 한대 만들 만한 변변한 시설이 없다'고 한탄했다. 1950~1960년대 경제나 과학기술 모두 불모지 같은 상황에서 중국은 1964년 원자폭탄, 1967년 수소폭탄, 1970년 인공위성 발사를 성공시켰다. 중국은 이를 일컬어 "양탄일성(两弹一星)"이라고 한다.

중국 당국은 신중국 건국 70주년 기념 영화 '나와 나의 조국'(我和我的祖国, 2019년 상영)과 중국공산당 100주년 기념 영화 '나와 나의 부모'(我和我的父辈, 2021년 상영)에서 '양탄일성'을 위해 생애를 바친 많은 인민들의 희생을 기리고 있다. 요즘 중국은 미중 기술 전쟁의 와중에서 반도체 굴기를 성공시키기 위해 또다시 과거 '양탄일성' 정신을 되새기고 있는 것 같다.

[베이징=뉴스핌] 최헌규 특파원 = '2021년 전국 과학기술행사주간 및 베이징 과학기술주간' 행사가 열리는 중관춘 국가자주창신시범구 전시장 중간에 전시된 원자탄, 수소탄, 인공위성 모형 (출처: 저자 촬영, 2021.5). 2022.09.01 chk@newspim.com

<필자 약력>

베이징대학 한반도연구소 연구원
중국 한국창업원 원장
SV인베스트먼트 고문
전 산업은행 베이징지점 고문
서울대 조선해양공학 학사/석사

베이징= 최헌규 특파원 chk@newspim.com