[뉴스핌=이보람 기자] 반도체 제조용 기계 제조업체 테스는 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 박막증착용 반응챔버 관련 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술과 관련된 것"이라며 "신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 이보람 기자 (brlee19@newspim.com)
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회사 측은 "이번 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술과 관련된 것"이라며 "신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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