[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 인젝터 모듈 및 플라즈마 반응 장치 특허를 취득했다고 21일 공시했다.
이번 특허로 챔버 내부로 유입되는 가스가 원치 않는 곳으로 흐르는 것을 막아 균일한 박막 형성과 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다.
회사 측은 "신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통한 제품 경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 김현기 기자 (henrykim@newspim.com)
[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 인젝터 모듈 및 플라즈마 반응 장치 특허를 취득했다고 21일 공시했다.
이번 특허로 챔버 내부로 유입되는 가스가 원치 않는 곳으로 흐르는 것을 막아 균일한 박막 형성과 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다.
회사 측은 "신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통한 제품 경쟁력을 강화할 계획"이라고 밝혔다.
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