[뉴스핌=백현지 기자] 참엔지니어링은 플라즈마 에칭 챔버 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 특허를 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력 강화에 사용하겠다는 계획이다.
[뉴스핌 Newspim] 백현지 기자 (kyunji@newspim.com)
[뉴스핌=백현지 기자] 참엔지니어링은 플라즈마 에칭 챔버 관련 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 특허를 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력 강화에 사용하겠다는 계획이다.
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