[뉴스핌=조현미 기자] 참엔지니어링은 기판에 형성성된 박막에 패터닝 시 박막이 손상되는 것을 방지하는 박막 패터닝 장치에 관한 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
회사는 "이 특허는 기판에 형성된 박막 손상과 기판 처짐 등에 의한 변형을 방지해 박막 패터닝 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다"며 "이를 통해 평판디스플레이 장비의 경쟁력를 강화할 것"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 조현미 기자 (hmcho@newspim.com)
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회사는 "이 특허는 기판에 형성된 박막 손상과 기판 처짐 등에 의한 변형을 방지해 박막 패터닝 공정의 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다"며 "이를 통해 평판디스플레이 장비의 경쟁력를 강화할 것"이라고 밝혔다.
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