[뉴스핌=서영준 기자] 테스는 실리콘 산화막의 건식 식각 방법에 대한 특허권을 취득햇다고 3일 공시했다.
회사 측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 서영준 기자 (wind0901@newspim.com)
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