[뉴스핌=서영준 기자] 원익IPS는 하부주입 RPG 세정용 공정 챔버에 대한 특허권을 취득했다고 3일 공시했다.
회사 측은 "반도체 장비에 적용해 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 서영준 기자 (wind0901@newspim.com)
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