[뉴스핌=노경은 기자] 쎄미시스코는 공정챔버의 플라즈마 광세기 감쇄장치에 대한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
회사측은 "이를 통해 광 세기를 적정 수준으로 낮춰 정확하고 효율적인 분석이 가능할 수 있도록 할 것"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 노경은 기자 (now21c@newspim.com)
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회사측은 "이를 통해 광 세기를 적정 수준으로 낮춰 정확하고 효율적인 분석이 가능할 수 있도록 할 것"이라고 밝혔다.
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