원익IPS, 샤워헤드 및 기판처리장치 특허 취득

기사입력 : 2011년10월10일 14:18

최종수정 : 1970년01월01일 09:00

[뉴스핌=김민정 기자] 원익IPS는 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 10일 공시했다.

이는 반도체 제조 장비 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급 수단에 관한 특허다.

회사 측은 "향후 생산성을 높이기 위해 당사 반도체 장비에 적용할 예정"이라고 설명했다.

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[뉴스핌 Newspim] 김민정 기자 (thesajah@newspim.com)

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