[뉴스핌=윤승우 기자] 반도체용 진공펌프 생산업체인 엘오티베큠이 식각공정 등에 적합한 진공 펌프(모델군 LDP)의 개발을 완료했다. 이에 따라 엘오티베큠은 향후 시장 확대를 통해 매출 성장의 기반을 확보하게 됐다는 평가다.

3일 엘오티베큠 관계자는 "지난달 반도체 제조 공정 중 물리적 증착(PVD)을 포함한 식각(etch)과 애싱(ashing) 등에 적합한 LDP 진공펌프의 개발을 완료했다"고 밝혔다.

특히 그는 "이번에 개발을 완료한 LDP 진공펌프의 경우 양산준비까지 마무리한 상태"라며 "주문이 들어오면 바로 생산을 통해 매출로 이어질 수 있는 구조"라고 강조했다.

이 관계자에 따르면 이번에 개발된 LDP 진공펌프는 기존 제품에 비해 소형, 저전력, 저소음이라는 특징과 공정 부산물에 강한 장점이 있다. 열악한 공정 환경에서도 진공펌프의 정상 가동이 가능하다는 설명.

엘오티베큠의 주력 제품은 화학적 증착(CVD) 공정용 건식진공펌프인 듀라드라이(Dura Dry) 시리즈다. 이번 LDP 모델의 개발로 엘오티베큠은 CVD뿐만 아니라 다양한 반도체 공정 설비 시장에 진출할 수 있게 됐으며 LCD·LED 등 디스플레이, 태양광, 바이오 산업으로까지 시장을 확대하게 됐다.

이 관계자는 "올 하반기부터 LDP 진공펌프의 매출이 발생할 것으로 보여진다"며 "내년 본격적인 양산에 돌입해 단기적으로 50~100억원의 매출을 예상한다"고 설명했다.