[뉴스핌=홍승훈기자] 국내 LCD 소모성 부품 1위 업체인 단성일렉트론이 전량 수입에 의존하는 반도체 웨이퍼용 노광기(리소그래피; Lithography) 국산화 개발에 착수했다.
단성일렉트론(대표이사 이현규)은 노광기의 기본설계와 사양을 확정했으며 연구설비와 클린룸을 하반기에 개설할 것이라고 9일 밝혔다. 이어 내년 하반기에 시제 장비 조립에 들어갈 예정이며 오는 2011년에 파일롯 제품을 시장에 내놓을 것이라는 중장기 비전을 내비쳤다.
단성일렉트론은 이를 위해 세계적인 노광기 업체와 국내 반도체 연구기관 등에서 중추적인 역할을 수행한 전문가를 영입, 최근 국내에 연구개발팀을 구성했으며 중국 상해에도 연구개발 사무소 개설을 검토 중이다. 또 미국, 대만, 중국 등의 해외 전문가를 추가로 영입할 방침이다.
단성일렉트론이 개발하는 노광기는 마이크로미터급 해상도의 장비로, 현재 세계 시장 규모는 1천억원 이상이다. 반도체 회로 패턴의 극미세화와 모바일 기기의 수요 폭증으로 칩의 패키징이 더욱 소형화됨에 따라 2015년 연간 시장규모가 3000억 원대로 성장할 것으로 예상된다.
단성일렉트론 관계자는 “3년 내 첫 파일롯 제품을 출시하고 장비의 성능개선을 통해 제품 양산에 착수할 것"이라며 "이후 단계적으로 노광기 개발을 확대해 2012년 13조 원 규모로 예상되는 전공정 노광기 세계 시장진출을 본격화할 계획”이라고 전했다.
노광기는 반도체 웨이퍼 위에 감광 물질을 바른 뒤, 빛이나 전자빔을 선택적으로 쬐어 원하는 형태의 반도체 미세 회로를 구성하는 기술로 반도체 집적화를 위한 핵심 장비다.
태양광 모듈 제작 공정에도 적용이 가능하며 현재 반도체 소자, LCD, 센서, 패키징 등의 핵심공정에서 사용되는 첨단 장비로 연간 1조원 이상의 국내 시장이 형성돼 있다.
우리나라의 경우 노광기를 현재 전량 수입에 의존하고 있으며, 이에 따라 연간 1조 원 이상의 외화가 해외로 빠져나가고 있는 셈이다.












