[뉴스핌=조인영 기자] 위지트는 14일 서셉터 표면 처리방법 관련 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
위지트는 "본 특허는 LCD CVD 챔버 내부에 설치되는 서셉터에 관한 것으로, 서셉터 표면에 요철이 일정 깊이 이상 깊게 형성돼 표면처리 후 표면의 거칠기가 유지되며 기판이 균일하게 가열돼 제품의 불량이 방지될 수 있는 서셉터의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다"고 설명했다.
이어 "본 특허 기술이 적용된 제품은 표면 조도가 높게 형성되며 공정 중 기판의 온도 균일성을 향상할 수 있을 뿐 아니라 서셉터와 기판의 접촉면적을 줄임으로써 양자간의 정전력을 줄여 기판과 서셉터의 분리를 용이하게 할 수 있는 제조방법을 제공한다"며 "본 특허 기술을 적용해 기존 대비 우수한 품질을 갖는 제품 생산에 적용하고자 한다"고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 조인영 기자 (ciy810@newspim.com)
