[뉴스핌=박현영 기자] 반도체 제조용 기계 제조업체 테스는 '박막증착장치'에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사 측은 "어느 하나의 가스공급모듈에 고장 등이 발생하는 경우 해당 가스공급모듈만 분리해 수리가 가능해 박막증착장치의 유지보수에 걸리는 시간 및 비용을 현격히 줄일 수 있다"며 "제품 경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 박현영 기자 (young2@newspim.com)
[뉴스핌=박현영 기자] 반도체 제조용 기계 제조업체 테스는 '박막증착장치'에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사 측은 "어느 하나의 가스공급모듈에 고장 등이 발생하는 경우 해당 가스공급모듈만 분리해 수리가 가능해 박막증착장치의 유지보수에 걸리는 시간 및 비용을 현격히 줄일 수 있다"며 "제품 경쟁력 강화에 활용할 것"이라고 밝혔다.
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