[뉴스핌=민예원 기자] 테스는 '공정가스의 흐름조정장치' 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.
테스 측은 "이 기술은 LED 핵심 공정장비(MOCVD)에 적용되는 것"이라며 "가스의 흐름을 가이드하는 가스 가이드부의 위치를 가변시켜 공정가스의 불균일한 흐름을 쉽게 조절할 수 있고 수율 향상에 기여할 수 있다"고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 민예원 기자 (wise20@newspim.com)
[뉴스핌=민예원 기자] 테스는 '공정가스의 흐름조정장치' 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.
테스 측은 "이 기술은 LED 핵심 공정장비(MOCVD)에 적용되는 것"이라며 "가스의 흐름을 가이드하는 가스 가이드부의 위치를 가변시켜 공정가스의 불균일한 흐름을 쉽게 조절할 수 있고 수율 향상에 기여할 수 있다"고 말했다.
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