[뉴스핌=이보람 기자] 3S는 웨이퍼 수납용기 및 그 제조방법관련 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지함과 동시에 제조공정을 간소화하고 제조비용을 절감할 수 있다"며 "향후 대전방지 특수형 웨이퍼 캐리어(S-FOUP) 등에 활용할 예정"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 이보람 기자 (brlee19@newspim.com)
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회사 측은 "이번 특허는 웨이퍼의 손상 및 오염을 방지함과 동시에 제조공정을 간소화하고 제조비용을 절감할 수 있다"며 "향후 대전방지 특수형 웨이퍼 캐리어(S-FOUP) 등에 활용할 예정"이라고 밝혔다.
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