[뉴스핌=이준영 기자] 참엔지니어링은 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.
회사측은 "기판의 수율을 증가에 특허기술을 활용할 것"이라고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 이준영 기자 (jloveu@newspim.com)
[뉴스핌=이준영 기자] 참엔지니어링은 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 30일 공시했다.
회사측은 "기판의 수율을 증가에 특허기술을 활용할 것"이라고 말했다.
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