[뉴스핌=우수연 기자] 테스는 반도체 장비에 적용되는 박막증착장치 관련 특허를 취득했다고 15일 공시했다.
회사 측은 이번 특허를 통해 "하나의 장치에서 적어도 둘 이상의 서로 다른 증착모드를 수행할 수 있으며, 복수의 증착장치를 하나의 장치로 대체할 수 있게돼 증착작업 비용과 설치 공간을 줄여 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 우수연 기자 (yesim@newspim.com)
[뉴스핌=우수연 기자] 테스는 반도체 장비에 적용되는 박막증착장치 관련 특허를 취득했다고 15일 공시했다.
회사 측은 이번 특허를 통해 "하나의 장치에서 적어도 둘 이상의 서로 다른 증착모드를 수행할 수 있으며, 복수의 증착장치를 하나의 장치로 대체할 수 있게돼 증착작업 비용과 설치 공간을 줄여 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 우수연 기자 (yesim@newspim.com)
사진
사진