[뉴스핌=김현기 기자] 참엔지니어링은 '기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템'과 '배치식 기판 지지 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치'의 특허를 각각 취득했다고 7일 공시했다.
회사측은 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 김현기 기자 (henrykim@newspim.com)
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회사측은 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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