[뉴스핌=정연주 기자] 로체시스템즈는 반도체 제조 공정에 이용되는 로드포트에 대한 특허권을 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "반도체 이송장비에 적용될 예정"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 정연주 기자 (jyj8@newspim.com)
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