[뉴스핌=김동호 기자] 위지트(대표 김현철)는 30일 효과적인 히터 삽입 및 알루미늄 고진공 브레이징이 이루어 질 수 있는 형상 기술에 관한 특허를 취득했다고 밝혔다.
회사 측은 이 특허가 에칭 챔버에서 플라즈마를 가두기 위한 환형 배플(baffle) 제조방법에 관한 것으로, 전량 수입에 의존하던 제품을 본 특허 기술을 이용해 국산화 하는데 성공했다고 설명했다.
회사 관계자는 "반도체 및 LCD 장비 부품은 온도를 균일하게 유지시키기 위해 히터가 삽입되는 제품이 다수 있다"며 "이 특허 기술을 이용하면 균일한 온도 제어가 가능해 우수한 열 전달 및 열 손실을 최소화 할 수 있다"고 강조했다.
이를 통해 해당 제품만이 아닌 유사 제품 혹은 타 제품에 특허를 적용해 우수한 품질의 차별화된 제품을 생산해 나간다는 전략이다.
한편, 위지트는 노광기 척, 300mm 히터 등의 국산화에 성공한 바 있다.
[뉴스핌 Newspim] 김동호 기자 (goodhk@newspim.com)
