테스, 가스분사장치 관련 특허 취득

기사입력 : 2012년03월13일 14:46

최종수정 : 1970년01월01일 09:00

[뉴스핌=유혜진 기자] 테스는 가스분사장치 및 이를 갖는 공정 챔버에 관한 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.

회사측은 "가스 분사판의 열 변형에 따른 파손을 방지하고 증착 균일성을 향상시킬 수 있는 태양전지 제조장치와 관련된 것"이라며 "제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.

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[뉴스핌 Newspim] 유혜진 기자 (beutyfuld@newspim.com)

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