[뉴스핌=유혜진 기자] 테스가 기판처리장치와 관련한 특허를 취득했다고 26일 공시했다.
회사 측은 "이번 발명은 셔터에 반응가스의 입자가 달라붙어 발생되는 오작동을 방지하는 효과를 제공한다"며 "장비 제조시 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 유혜진 기자 (beutyfuld@newspim.com)
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회사 측은 "이번 발명은 셔터에 반응가스의 입자가 달라붙어 발생되는 오작동을 방지하는 효과를 제공한다"며 "장비 제조시 제품경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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