[뉴스핌=황의영 기자] 주성엔지니어링은 산화알루미늄막의 원자층증착방법에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 증착속도를 향상시키고, 소스가스의 소비량을 현저히 줄일 수 있는 원자층증착방법에 관한 것"이라고 설명했다.
아울러 주성엔지니어링은 '반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록', '리프트핀 지지대' 등에 대한 특허도 취득했다.
[뉴스핌 Newspim] 황의영 기자 (apex@newspim.com)
[뉴스핌=황의영 기자] 주성엔지니어링은 산화알루미늄막의 원자층증착방법에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 증착속도를 향상시키고, 소스가스의 소비량을 현저히 줄일 수 있는 원자층증착방법에 관한 것"이라고 설명했다.
아울러 주성엔지니어링은 '반도체 웨이퍼 제조장비의 히터블록', '리프트핀 지지대' 등에 대한 특허도 취득했다.
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