주성엔지니어링, 대만사와 112억원규모 계약체결

기사입력 : 2007년02월06일 14:21

최종수정 : 2007년02월06일 14:21

주성엔지니어링은 대만 프로모스 테크놀로지스와 112억원규모의 반도체용 금속막, 절연막 증착장치 공급계약을 체결했다고 6일 밝혔다.

이는 최근 매출액 대비 8.6% 규모이며, 계약기간은 오는 11월 15일까지다.

또한 질화티타늄막 형성방법에 관한 특허도 함께 취득했다.

이번 특허는 질화티타늄(TiN)막 형성방법에 관한 것으로 특히,박막 자체의 응력을 낮출수 있고 그 위에 증착되는 알루미늄 등의 금속 배선의 질을 향상시키고, 회로소자의 신뢰성을 높일 수 있다.

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