[뉴스핌=정지서 기자] SMEC는 레이저를 이용한 비아홀 가공장치에 대해 특허를 얻었다고 7일 공시했다.
이는 반도체 웨이퍼 제조공정에 적용해 생산성을 높일 수 있는 기술이다.
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[뉴스핌 Newspim] 정지서 기자 (jagi@newspim.com)
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