케이씨텍, 세정장치 등 6개 품목 특허취득

기사입력 : 2007년04월02일 15:16

최종수정 : 2007년04월02일 15:16

케이씨텍은 세정조 및 이를 구비하는 세정장치에 대한 특허를 취득했다고 2일 공시했다.

회사측은 "이 특허를 웨이퍼 습식세정장체에 적용시킬 예정"이라고 밝혔다.

이에 함께 회사측은 "감광액 슬릿 노즐의 감광액 경화방지장치 및 방법, 대면적 기판의 식각장치, 분사 노즐, 건식세정장치의 승화성 고체입자 공급장치, 기판건조용 에어나이프 모듈 및 이를 이용한 기판건조장치에 대해서도 특허를 취득했다"고 덧붙였다.

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