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[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 전공정 장비업체 에이치피에스피(HPSP)가 '고압 습식 산화막 장비' 품질인증(Quality·퀄) 테스트를 진행 중이다. 

HPSP 관계자는 23일 "산화막 장비 퀄 테스트가 순조롭게 진행 중이다. 일정 변경이 생길 수도 있지만 내년 상반기 내 완료를 목표로 하고 있다"며 "신공장은 연말 내 완공 예정이다. 생산시설 이전 완료 시점인 2분기까지 기존 공장과 함께 운영된다"고 말했다.

HPSP는 파운드리 7나노미터(nm) 이하 공정에서 수율 개선 위한 필수 장비인 '고압 수소 어닐링 장비'를 독점적으로 생산하고 있다. HPSP가 개발 중인 '고압 습식 산화막 장비'는 3nm이하 공정 내 산화막 형성 장비로 고온 공정을 거치면서 메탈 라인이 변형되는 문제를 보완했다.

HPSP 로고. [로고=HPSP]

지난해 12월 HPSP는 공장신축 및 연구개발시설 투자를 위해 약 333억 규모를 투자했다. 신공장이 이전이 완료되면 생산능력은 연간 40대에서 80대로 약 2배 이상 증가할 전망이다.

금융감독원 전자공시시스템에 따르면 HPSP는 지난해 1593억원, 영업이익 852억원을 기록했다. 애프앤가이드는 올해 HPSP 매출액 1786억원, 영업이익 960억원 전망한다. 각각 전년대비 12.11%, 12.67% 증가한 수치로 역대 실적을 예상한다.

이의진 흥국증권 연구원은 "HPSP는 올해 주요 고객사의 견조한 장비 수요로 인해 시스템 매출액은 증가할 것으로 판단되지만, 생산설비투자 감소에 따라 메모리 매출액은 하반기를 중심으로 감소할 것으로 보인다"며 "주요 시스템 고객사를 모두 확보한 상황에서 지속적 수요가 발생할 것으로 예상된다. 신규 고압 습식 산화막 장비는 내년 하반기 매출로 인식될 것이다"고 전했다.

HPSP는 2017년 4월 풍산에서 분사해 설립된 후, 2022년 7월 15일 코스닥에 상장했다. 공모가 기준 시총 4980억이었던 회사는 코스닥 상장 후 1조원, 현재는 2조 9700억이 넘는 회사로 성장했다. 주력 장비로는 반도체 전공정에 필요한 어닐링(annealing, 열처리 공정)를 제조·공급하고 있으며, 매출의 90% 이상이 이 장비에서 나오고 있다. 어닐링은 반도체에 생긴 손상을 제거하기 위한 열처리 공정인데 HPSP의 경우 고열이 아닌 고압방식의 장비를 세계 최초로 개발해 유일하게 공급하고 있다.

nylee54@newspim.com