[뉴스핌=정지서 기자] 비아이이엠티는 7일 플라즈마 배기가스 순환 시스템과 관련한 특허권을 취득했다고 공시했다.
이는 태양광 웨이퍼 Texturing 공정시 사용되는 플라즈마 배기가스 순환 시스템에 관한 것으로 플라즈마 발생장치에서 가공후 발생되는 배출가스의 일부를 재사용하는 시스템이다.
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[뉴스핌 Newspim] 정지서 기자 (jagi@newspim.com)
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이는 태양광 웨이퍼 Texturing 공정시 사용되는 플라즈마 배기가스 순환 시스템에 관한 것으로 플라즈마 발생장치에서 가공후 발생되는 배출가스의 일부를 재사용하는 시스템이다.
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