[수원=뉴스핌] 박승봉 기자 = 세계 반도체 이온주입 장비 시장을 선도하는 미국 엑셀리스(Axcelis Technologies)가 경기 평택시에 575억 원 규모의 신규 제조시설을 건립하며 한국 투자를 대폭 확대한다.

경기도는 엑셀리스의 이번 투자가 완료되면 도내 반도체 공급망 안정성이 대폭 강화되고 경기도가 추진 중인 반도체 초격차 전략에도 더욱 탄력이 붙을 것으로 전망하고 있다.

20일 도에 따르면 이날 평택 오성 외국인투자지역에서 열린 착공식에 추미애 경기도지사를 비롯해 최원용 평택시장, 러셀 로우(Russell Low) 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표, 산업통상자원부, KOTRA, 삼성전자·SK하이닉스 관계자 등 50여 명이 참석했다.

엑셀리스는 평택 오성 외국인투자지역 내 2만 2326.5㎡ 부지에 575억 원(4100만 달러)을 투자해 연면적 1만 8800㎡ 규모의 아시아 거점센터를 조성한다. 기존 평택 아시아 운영센터(AAOC)를 확장·이전하는 이번 증액 투자는오는 2028년 상반기 준공을 목표로 추진된다.

신규 센터에는 반도체 이온주입 장비 제조용 클린룸, 아시아·유럽 부품 공급 허브 창고, 고객 트레이닝센터가 들어선다. 특히 미국 본사에서 생산하던 일부 장비와 제품 생산 라인을 한국으로 이전해 아시아 수출 물량의 국내 생산 비중을 대폭 늘릴 방침이다.

경기도는 한국과 싱가포르, 말레이시아 간 치열한 투자 유치 경쟁 속에서 적합 부지 발굴 및 인허가 원스톱 지원을 통해 엑셀리스의 투자를 성사시켰다. 엑셀리스는 지난 9월 입주 계약을 체결한 뒤 이날 본격적인 착공에 들어갔다.

미국 매사추세츠주에 본사를 둔 엑셀리스의 대표 제품인 '퓨리온(Purion)' 시리즈는 전기차 및 산업용 전력기기에 쓰이는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야 이온주입 공정에서 독보적인 기술력을 인정받고 있다.

추미애 경기도지사는 "경기도를 믿고 투자해 주신 엑셀리스의 아시아 거점센터 착공을 진심으로 축하드린다"며 "전력과 용수의 안정적 확보 등 기업이 안심하고 투자할 수 있는 환경을 만들어 세계 반도체 산업의 미래를 경기도가 이끌어 가겠다"고 밝혔다.

러셀 로우 엑셀리스 CEO는 "이번 투자는 글로벌 기술력과 한국의 우수한 제조 역량을 연결하는 이정표"라며 "국내 고객사 및 협력사와의 파트너십을 바탕으로 AI 시대 반도체 혁신과 산업 생태계의 동반 성장을 이끌어 내겠다"고 답했다.

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