습도제어 최적화 및 안정화로 1위기술 제품 JFS 성능 극대화
이달 말부터 글로벌 반도체기업 대상으로 테스트 및 공급 계획
자체 AI 기술, VIS 등 주요 제품에도 전면 적용 예정
[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 저스템의 습도제어 장비 JFS(Jet Flow Straightener)가 인공지능(AI)의 날개를 달고 성능을 극대화한다.
반도체 습도제어 전문 장비회사인 저스템은 현재 글로벌 반도체 기업을 대상으로 공급 중인 2세대 습도제어 솔루션 JFS를 첨단 AI기반의 정밀제어시스템으로 고도화하는 'AIP-JFS(AI Powerd- JFS)'를 개발했다고 11일 밝혔다.
저스템이 개발한 AIP-JFS는 JFS의 습도제어 성능을 각 생산라인의 공정과 설비 등 환경에 최적화되도록 프로그래밍하고 AI가 기류흐름을 분석해 속도 및 강도를 제어함으로써 생산라인의 안정성을 극대화하는 것이 핵심이다.
AIP-JFS의 안정성은 생산성 향상과도 직결된다. AI를 활용해 데이터의 분석시간을 단축하고 기존보다 빠른 시간내에 습도를 제어함으로써 시간과 비용을 크게 절감할 수 있다. JFS의 습도제어 최적화에 소요되는 기존 시간을 60% 이상 줄일 수 있게 돼 생산능력도 배가된다.
반도체 제품은 극도로 미세화되면서 습도제어를 통한 수율향상이 시장의 첨예한 관심이 되고 있다. JFS는 이러한 요구에 부응해 저스템이 원천 특허기반으로 습도제어를 위해 만든 세계최초 기류제어 제품이다. 풉(foup)의 내부습도를 최대 1%이하로 제어함으로써 습도문제를 해결하고 수율 향상을 돕는다.
저스템 연구소 우인근이사는 "JFS가 AI 정밀제어시스템을 통해 성능을 더욱 극대화할 수 있게 됐다. 반도체 공정에서 습도제어의 안정성이 나날이 중요시되는 만큼 한 차원 높은 기술력으로 글로벌 반도체 기업에 JFS를 공급할 것"이라고 전했다.
저스템은 이번 개발을 시작으로 정전기 제어장비인 VIS 등 자사 주요 솔루션에 AI기술을 전면적으로 도입, 장비운영시스템을 고도화할 계획이다.
nylee54@newspim.com
