대전시, '첨단반도체 핵심' EUV 성능평가센터 구축한다
... 표준연 내에 EUV 소부장 성능검증평가센터를 설립해 ▲Z-Pinch EUV 광원 ▲LPP EUV 광원 ▲HHG...
2024-05-17 09:50