[서울=뉴스핌] 박진숙 기자 = 국일제지는 자회사 국일그래핀이 8인치 대면적 실리콘 웨이퍼 위에 단층(monolayer) 그래핀을 합성하는 데 성공했다고 29일 밝혔다.
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이번 작업은 윤순길 충남대 교수팀과 공동연구로 진행됐으며, 150℃ 이하 저온에서 무전사 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 방식을 통해 낮은 이뤄졌다.
회사 관계자는 “8인치 플라즈마CVD 장치에 티탄을 버퍼층으로 한 저온 무전사 방식으로 낮은 온도에서 그래핀을 합성한 것”이라며 “분석장비를 통해 8인치 실리콘 웨이퍼에 단층 그래핀이 성공적으로 증착된 것을 확인했다”고 말했다.
국일그래핀은 지난해 11월 무전사 CVD 방식으로 4인치 실리콘 웨이퍼 및 플렉시블 PET 필름 위에 단층 그래핀 합성 기술을 발표한 지 6개월 만에 진일보한 성과를 거뒀다.
국일그래핀이 발명한 신소재 그래핀 제조기술은 지난 4월 미국 특허 등록을 완료했다. 이 기술은 전사 과정을 거치지 않는 방식으로 그래핀 박막을 형성해 고품질 그래핀을 만드는 방법이다. 투명 전극, 반도체 디바이스 등의 전극 소자에 적용해 접는 OLED, 유연 터치패널, 태양전지 전극 등에 사용할 수 있는 것이 장점으로 꼽힌다.
회사 관계자는 “이번 8인치 실리콘 웨이퍼 그래핀 합성 성공에 따라 앞으로 그래핀이 웨어러블, 태양전지, 이차전지, 배터리 등 다양한 분야의 소재로 활용도가 더 넓어질 것으로 기대한다”고 했다.
그러면서 “PET 등 플레시블 소재에서도 8인치 이상 대면적 박막 그래핀 합성이 진행 중"이라며 "동일한 공법의 양산화 준비를 위한 생산 공정에 대해서도 다각도로 검토 중”이라고 덧붙였다.
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